留下的凹痕和恢复的位移
把硬探针压进金属表面，再逐渐撤走力。凹痕可能留下来，周围的材料却会向上恢复一点。前者说明有一部分变形没有回复，后者反映弹性储存的能量正在返还。仪器同时记录载荷和探针移动了多远，这两段过程便在同一张图上分开。
刚开始卸载时，力稍微减少，接触位移就跟着减少。每恢复一小段位移，载荷下降多少，叫接触刚度。它描述这一刻整个接触有多难继续压动。要把它解释成材料本身的弹性模量，还需要知道接触面有多大。
来源：[1]
硬度需要一块有面积的接触面
相同载荷若由很小一块面积承受，平均压力就高；铺到较大面积，平均压力就低。压痕硬度采用峰值载荷除以当时的投影接触面积，也就是沿载荷方向看到的那块面积。这个面积指承载时的接触，卸载后的凹痕还可能继续恢复。
压入深度并不能自动给出面积。一个尖端很锐的探针和一个略有圆钝的探针，压到同样深时，覆盖的范围可以不同。尤其在浅压入时，尖端一小点形状差别就会占去很大比例。
接触边缘还会跟着表面下陷。探针总共移动了多远，与材料沿着探针接触到多高，是两段不同的长度。面积函数描述后一段长度对应的投影面积；它必须先经过标定。
机器的移动也混在读数里
力从加载头传到探针，再传到样品和支架。机器再坚硬，沿这条路径也会有微小挠曲。位移计若跨过了这部分结构，它读到的便同时包含接触变形和机器变形。把全部行程都算给样品，会把接触看得过软。
可以先换上半径已知的球形探针，在弹性性质已知的参考样品上压入。小变形弹性球接触有确定的载荷与位移关系，参考测量因此能帮助找出机器额外增加的位移以及接触零点。这一步依赖球形和纯弹性假设。
换回需要使用的尖端，再测几种不同深度的参考曲线。参考模量给定后，卸载刚度能反过来限制接触面积，几个深度合起来描述尖端形状。另测一组参考来复核，可以检验标定是否只在先前几条曲线上奏效。
卸载曲线要按它的弯曲程度来读
1992年，Oliver和Pharr仔细比较了几种材料的压入与卸载，强调卸载曲线通常呈弯曲形状。接触在撤力时不断缩小，刚度也随之变化。先拟合这种弯曲，再取峰值处的斜率，比随意挑一段直线更有物理依据。
结合面积后得到的是约化模量，它把样品和压头自身的弹性柔度合在一起。要换成样品的杨氏模量，还要给定样品泊松比和压头弹性常数。纯弹性球接触同样有载荷除以面积的平均压力，却没有这个模型中的塑性硬度；它完全回弹后没有留下塑性压痕。
面积解释也有适用条件。若压痕边缘向上堆起，真实接触范围可能大于光滑下陷模型给出的范围，算出的硬度和模量就可能偏高。这时需要另测接触形状，再决定怎样解释卸载曲线。