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把两种不同半导体接在一起,器件多了什么自由度?
生长相邻材料层
形成导带与价带台阶
注入并限制载流子
测器件性能
半导体光源需要电子和空穴在合适区域相遇。电流送得再多,如果载流子在辐射复合前就跑出有源区,或者光与有源材料重叠得很少,器件仍然难以高效工作。晶体管也面对选择性问题:希望的一向注入要强,不希望的反向注入要尽量弱。把不同半导体接起来,提供了掺杂之外的控制办法。
材料成分改变,导带边、价带边和折射率都可能改变。界面便可以引导某类载流子、阻挡另一类,或把载流子与光留在同一有源层。问题从“能不能画出一个漂亮能带图”,推进到“这个界面会怎样改变可测的输运或发光”。只有材料做得出来、相应行为量得出来,设计图才成为器件证据。
导带边表示附近导电态的最低能量,价带边表示价带顶端,两者之差是带隙。两种半导体相接,电子遇到的导带台阶与空穴面对的价带地形,必须分别说明。
以宽带隙包层夹住窄带隙有源层为例,先约定正的导带带阶,是包层导带边减去有源层导带边;正的空穴限制高度,则取有源层价带边减去包层价带边。按这个约定,带隙差等于下面两个限制高度之和。知道总和,还不知道怎样分给电子与空穴。材料组合、界面化学和应变,都可能影响对齐关系。
外加电压带来静电贡献,改变材料成分却能让导带、价带以不同方式变化。Kroemer 讨论准电场时,特别强调了这种区别。真实电场按电荷作用,成分造成的带边变化则提供依赖载流子种类的能量地形;把两者混成同一种斜坡,甚至可能判断错运动方向。
来源:[2]
双极晶体管的发射结正向偏置后,两个方向都可能有载流子注入。有用的一向把少数载流子送入基区,让它们继续到集电极;相反方向的注入增加输入电流,却不产生同样有用的输出。选择合适的宽带隙发射区,可以相对压低不希望的反注入,改善注入选择性。
这不是“势垒越大晶体管越好”。不合适的导带尖峰,也可能拦住本来就该送进基区的电子。完整器件还必须满足静电、连续性与边界条件。改进来自对两类载流子的不同作用,而不是给能带图任意加高一堵墙。
Kroemer 在 1957 年发展变带隙与宽带隙发射区设计思想,让器件不再局限于一种均匀半导体;但外延生长与界面控制要晚些才追上。异质结晶体管与后来的光学异质结构共享能带工程原则;两者各有自己的几何结构和测量问题。
把窄带隙有源层夹在能带对齐合适的宽带隙材料之间,两侧带阶就能阻碍电子和空穴逃走。相同注入下,有源层可保持较高的有用载流子浓度,复合更容易发生在希望的位置。单个界面控制通行,两个界面则能围出一个受限区域。
限制光是另一项设计。折射率组合合适时,层状结构可以引导光学模式,让光与增益介质充分重叠。载流子限制和光波导互相帮助,却不能互相充当证明。一张量子阱图既没有给出光学模式分布,也没有自动算出注入效率。
对于半导体激光器,结果体现在增益与损耗的竞争上:有源区载流子更多、光学重叠更好,通常有机会降低产生激光所需的注入。非辐射复合、吸收、腔镜与发热仍然重要。双异质结构一起改善了几项相关条件,让器件更容易跨过仍然存在的激射阈值。
想象一个光子沿有源层走到端面,被反射回来,再走一趟。两个端面都会放走一部分光,材料内部也会吸收光;受激发射则向同一个光学模式补充光。这个模式达到激射阈值时,一次往返补进来的光恰好抵上损失。输出端面还得透光,光才用得上;阈值低和输出多,并不是同一件事。
电流先把电子和空穴积累起来。透明点以下,受激吸收多于受激发射;超过透明点,净增益变正,却未必足以补上腔损耗。整个过程中都可以有微弱自发发光。受激发射强起来后,又会消耗储存的载流子;电流突然改变时,载流子和光可能先过冲,再振荡着稳定下来。把载流子留在有源区,同时让光学模式充分经过这里,就能减少无效注入,更容易达到增益与损耗的平衡。
1963 年出现了独立的双异质结构激光方案,涉及 Kroemer,以及 Alferov 与 Kazarinov。做出室温连续激光,需要的远不止一次短暂发光。持续注入会持续发热;若载流子限制差、光损耗大,阈值电流可能高到让温升先破坏预期工作。
Alferov 的本人讲稿回顾了 1970 年室温连续工作,也提到贝尔实验室 Hayashi、Panish 等人的独立结果。他区分宽面积与条形器件,报告不同阈值电流密度。这些量各有用途:从电流密度换算总电流,还要知道有源面积;连续工作时,还得说明散热安装。
比较器件时,应在说明温度的条件下测光输出随注入电流怎样变化,再把阈值行为与相应激光光学证据结合起来。结构不同、条件相近的对比,才能检验界面和限制是否改善了性能。脉冲与连续结果即使光谱相近,也回答不同的热问题。短脉冲之间可以散热,室温连续工作则要求器件承受持续热负载。
外延生长让新晶层沿着下方晶体的结构长起来。晶格是否兼容、成分能否控制、界面够不够干净,都会影响器件能否按设计工作。晶格失配带来应变,若松弛时形成缺陷,又可能增加非辐射复合或散射;元素互混还会把原想做得很陡的带阶变成渐变分布。器件表现差时,应结合材料表征检查生长结果;一条电曲线还分不清界面缺陷与设计本身的问题。
实验进展把材料表征与器件测量接了起来。生长方法改善之后,注入、复合或激光工作若按预期改变,材料改进才与功能形成证据联系。2000 年对 Alferov 与 Kroemer 的授奖,涵盖用于高速电子与光电子器件的异质结构发展。它留下的设计经验是把成分、结构与输运一起考虑;能带图把这些工作压缩得很清楚,但不替代真正承载它们的材料。
若经典非简并载流子库的纵向多余动能服从指数分布,高于正势垒的那一部分,就按势垒与热能之比受到指数压低。温度必须取绝对温度,两个能量要使用相同单位。这一关系只描述这个简单热尾部,不是所有异质结共用的一条完整电流规律。
三百开尔文时,热能约零点零二六电子伏特。保持入射供给不变,把假想势垒从零点一提高到零点二电子伏特,越过势垒的比例约会缩小四十八倍。偏压降低势垒,也可能带来同样显著的改变。这说明界面对齐不能只画个大概。真实二极管中,载流子供给、描述两类载流子占据的准费米能级、静电轮廓与隧穿都可能一起变化。求总电流时,还要把这些因素与势垒高度一起考虑。
来源:[2]
异质结构给设计者增加了材料成分这只旋钮。它可以分别改变电子与空穴的能量地形,也能配合折射率分布限制光。真正工作起来的晶体管和激光器,要求这些选择同时落实到生长质量、界面和实际输运上。材料之间的边界,由此成为器件主动利用的结构。
往返增益与损耗、载流子—光子速率方程、阈值和启动过程。
带阶与材料成分的空间变化控制载流子注入。
载流子和光的限制离不开真实界面、生长质量及器件测量。
涉及 1957 年异质结晶体管提议、1963 年激光提议、约 1970 年器件突破和集成电路背景。
核对获奖归属与年份。原始观测或理论论文往往早得多。
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