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Sandbox Physics

E40 · 晶体衍射

进动衍射:从斑点到晶粒

让电子束斜着绕圈转,能让晶粒取向更容易认出来吗? 能。让电子束倾斜着绕光轴转圈,相当于把很多衍射条件平均到一起,得到的衍射图和参考库比对起来更可靠。样品下方再把束反扫回来,每幅图都落在探测器同一位置。计数太少或匹配不可靠的点,宁可不标取向。

让纳米束绕样品上的枢轴进动,在薄片下方把束的运动补偿回来,并在每个扫描位置记一张衍射图样。再用一个给定的小型图样库索引这些存储图样,看哪些位置置信不足。

交互模型进动衍射:从斑点到晶粒
所选索引取向—\text{—}
存储位置索引占比—\text{—}
所选相似度差距—\text{—}
正向反射份额失配—\text{—}
更多测量与实验目标
所选存储探测器计数—\text{—}
所选中心掩膜外计数—\text{—}
全栅格平均相似度差距—\text{—}
栅格视场宽度—\text{—}
双精度存储计数立方—\text{—}
实验目标—\text{—}

物理教程

进动衍射:从斑点到晶粒

背景让纳米束绕样品上的枢轴进动,在薄片下方把束的运动补偿回来,并在每个扫描位置记一张衍射图样。再用一个给定的小型图样库索引这些存储图样,看哪些位置置信不足。

为什么值得理解目标是打开去扫描,进动角取 5 至 15 毫弧度,扫描步长不超过 30 纳米。存储位置里至少百分之九十要索引成功,平均相似度差距至少 0.4。所选晶粒的正向反射份额失配不超过 0.12。这个失配只是模型诊断,达标不等于精度得到认证。

先抓重点

核心问题
让电子束斜着绕圈转,能让晶粒取向更容易认出来吗?
一句话直觉
进动把许多激发条件下的图样叠加起来,去扫描让它们落在同一套探测器坐标上。晶粒图的颜色要从记录的图样算出来,计数低、置信低的位置也允许留空不索引,这样的颜色才算推断。

核心数学模型

弹性强度守恒

idψdz=Hψ,H=H†i\frac{d\boldsymbol\psi}{dz}=H\boldsymbol\psi,\quad H=H^\dagger

有限的厄米星形哈密顿量让弹性振幅在各束之间转移,总量不丢;衍射束之间的耦合没有算。

固定注量下的进动

Iˉg=1256∑m=0255∣ψg(t;ϕm)∣2\bar I_g=\frac1{256}\sum_{m=0}^{255}|\psi_g(t;\phi_m)|^2

这里对入射方向取平均,开启进动并不会让曝光变成 256 倍。

图样匹配的置信指标

q=cbest−cnextcbestq=\frac{c_{best}-c_{next}}{c_{best}}

余弦相似度不计中心束。这个差距比较最佳匹配和次佳匹配,不是后验概率。

常见难点

散射模型为何仍要检查

容易误解图像很清楚、取向也很有把握,就不用再检查散射模型了。

正确理解进动把许多激发条件下的图样叠加起来,去扫描让它们落在同一套探测器坐标上。晶粒图的颜色要从记录的图样算出来,计数低、置信低的位置也允许留空不索引,这样的颜色才算推断。

动手实验

  1. 01

    预测斑点怎样移动

    打开进动,保持入射计数不变,再把去扫描关掉、重新打开。

    你会看到: 斑点运动没有补偿时,图样变模糊,斑点还可能跑出探测窗口。
  2. 02

    索引存储的图样

    在存储扫描里移动所选的行和列。不改采集,提高相似度阈值。

    你会看到: 被拒绝的位置变成灰色;指定的晶粒参考图仍单独显示。
  3. 03

    试探方法的极限

    比较“厚薄片保留动力学失配”和“衍射计数不足”两个预设,再完成目标。

    你会看到: 晶粒索引得很好,也仍可能有动力学强度失配。
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