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Sandbox Physics

光学 063 · 衍射、Fourier 光学与计算成像

Abbe 分辨率实验室

Abbe–Porter 级次选择光台:用倾斜照明找回隐藏光栅,改变真实瞳孔,并揭露假半间距细节。

交互模型Abbe 分辨率实验室
轴向/当前未掩模周期支持 paxial,psupportp_{\rm axial},p_{\rm support}0.500.50
透过级次数/单元胞通光率 Npass,TcellN_{\rm pass},T_{\rm cell}50%50\%
法向截线反差/真实周期振幅 Ccut,A1/pC_{\rm cut},A_{1/p}0.00π0.00\pi
模型适用区间模型适用\text{模型适用}

物理教程

审查Abbe 分辨率实验室的物理过程

背景周期物体把相干平面波衍射为离散级次。级次进入圆瞳的条件是 ∥si+λνmn∥≤NA\left\lVert\boldsymbol s_i+\lambda\boldsymbol\nu_{mn}\right\rVert\le\mathrm{NA}。倾斜光源整体平移级次;级次间距由物体完整周期决定。

为什么值得理解为什么倾斜照明能找回看不见的条纹,而挡住一个级次却会伪造双倍细节?

先抓重点

核心问题
为什么倾斜照明能找回看不见的条纹,而挡住一个级次却会伪造双倍细节?
一句话直觉
像是干涉计算,不是给参考图涂一层模糊:Iimg=∣∑cmnPmne−2πi(νmn⋅r+mδ/p)∣2I_{\rm img}=\left|\sum c_{mn}P_{mn}e^{-2\pi i(\boldsymbol\nu_{mn}\cdot\boldsymbol r+m\delta/p)}\right|^2。只剩一个级次时强度均匀;相邻两级可编码原始周期,正负一级而无零级却编码半周期。

核心数学模型

频率与实体瞳坐标

νmn=1pRα(m,n)si=(βNA,0)rP=f(si+λνmn)RP=fNA\begin{aligned}\boldsymbol\nu_{mn}&=\frac1p\mathsf R_\alpha(m,n)\\\boldsymbol s_i&=(\beta\mathrm{NA},0)\\\boldsymbol r_P&=f(\boldsymbol s_i+\lambda\boldsymbol\nu_{mn})\\R_P&=f\mathrm{NA}\end{aligned}

横向为水平及向下竖直;旋转角把第一光栅法向从水平转向下方。波长及周期用微米,瞳坐标用毫米。理想正弦瞳映射不是高 NA 矢量镜片处方。

轴向与对齐斜照周期

paxial=λNApaligned=λNA+∣sin⁡θi∣pedge→λ2NA\begin{aligned}p_{\rm axial}&=\frac\lambda{\mathrm{NA}}\\p_{\rm aligned}&=\frac\lambda{\mathrm{NA}+|\sin\theta_i|}\\p_{\rm edge}&\to\frac\lambda{2\mathrm{NA}}\end{aligned}

这是光栅完整周期,不是半间距或 Rayleigh 点间距。最后一个极限需要照明在瞳边缘且与光栅频率对齐。实时支持值还考虑光栅旋转,但不考虑额外瞳掩模。

没有新信息的假半间距

t(x)=12+12cos⁡(2πx/p)Uno DC=12cos⁡(2πx/p)Ino DC=18[1+cos⁡(4πx/p)]\begin{aligned}t(x)&=\tfrac12+\tfrac12\cos(2\pi x/p)\\U_{\rm no\,DC}&=\tfrac12\cos(2\pi x/p)\\I_{\rm no\,DC}&=\tfrac18[1+\cos(4\pi x/p)]\end{aligned}

对齐平滑条纹且收进两侧一级时,挡零级会抹掉强度的基频,截线反差仍可为一。模拟保留这个伪影,不拿清晰物图替换它。

单元胞强度与探测显示

⟨Iout⟩=∑∣cmnPmn∣2Tcell=⟨Iout⟩⟨∣t∣2⟩B=min⁡(1,GI/Iinc)\begin{aligned}\langle I_{\rm out}\rangle&=\sum|c_{mn}P_{mn}|^2\\T_{\rm cell}&=\frac{\langle I_{\rm out}\rangle}{\langle|t|^2\rangle}\\B&=\min(1,G I/I_{\rm inc})\end{aligned}

正交性给出完整周期胞的标量均方透射,不是显示裁剪内总功率或经标定斜入射通量。接收图在八微米内每边一百九十二点采样;五百一十二点原始截线沿第一法向覆盖一个周期。纵轴范围标出且可重缩放,但数据不含显示增益。

常见难点

看着更细的图案,可能是错误图案

容易误解反差更大,或条纹数量翻倍,就证明分辨率提高。

正确理解平滑条纹挡掉零级后,只剩正负一级;它们的强度具有原始半间距,而原始频率振幅为零。这是级次选择干涉,不是新增物体信息。除了反差,还要检查标出的真实周期振幅。

动手实验

  1. 01

    场景 1:轴向照明 · 条纹消失

    轴向照明中缓慢打开瞳孔,观察一级何时进入。突变来自本模型的无限周期理想化。

    应该观察到: 改变波长移动级次,而实体 NA 光阑不变。改变 NA 会改变真实孔径半径;固定归一倾斜也会联动光源。
  2. 02

    场景 2:倾斜照明 · 找回周期

    倾斜预设中水平拖动瞳图零级点,再旋转光栅:同样倾斜对垂直频率并没有相同帮助。

    应该观察到: 二值开孔含许多谐波;收集更多可使边缘变锐,选择导致的振铃与假细节仍会保留。
  3. 03

    场景 3:挡掉零级 · 假半间距

    比较开放、只留零级及挡零级的瞳,再让交叉网格通过水平狭缝,对照原始法向截线。

    应该观察到: 一次斜照曝光恢复选定方向的信息,不会合成各向同性高分辨率图,也不会从强度恢复相位。
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