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Sandbox Physics

E38 · 电子成像

DPC:束偏转与投影场

让会聚探针穿过平滑结区,把偏移圆盘与独立记录的真空参考对照。由测量质心恢复电场等效投影,比较分区差分,并检查裁切、计数噪声和晶体散射重分布怎样伪装成场。

交互模型DPC:束偏转与投影场
恢复电场等效投影—\text{—}
已知模型均方根误差—\text{—}
最小期望掩膜接收—\text{—}
选定帧 · 接收计数—\text{—}
记录真空质心—\text{—}
已知场致偏转—\text{—}
已知展宽源投影—\text{—}
假设受力来源—\text{—}
入射样品扫描剂量—\text{—}
实验目标—\text{—}

物理教程

先测动量,再解释场

背景电子穿过平滑的投影受力区域时获得横向动量。在刚性偏移极限下,像素探测器可以由记录强度的质心估计偏转。

为什么值得理解探测器零点、缺失角度、计数噪声和晶体强度重分布都会改变表观场。

先抓重点

核心问题
移动的衍射盘,何时能代表场?
一句话直觉
完整质心与分区差分是不同估计器。只有控制磁贡献与散射假设,电场等效投影才能解释为电场。

核心数学模型

相对论洛伦兹冲量

p Δθ=−e∫(E⊥v+z^×B⊥)dzp\,\Delta\boldsymbol\theta=-e\int\left(\frac{\boldsymbol E_\perp}{v}+\hat{\boldsymbol z}\times\boldsymbol B_\perp\right)\mathrm dz

入射方向为样品纵深正向。横向正电场使电子向横向负方向偏移;纵向负磁感应投影产生相同偏移。束能固定 200 kV。

由采集像素计算质心

θ‾x=∑m,nMmnDmnθx,m∑m,nMmnDmnΔθx=θ‾x,spec−θ‾x,vac\begin{gathered}\overline{\theta}_x=\frac{\sum_{m,n}M_{mn}D_{mn}\theta_{x,m}}{\sum_{m,n}M_{mn}D_{mn}}\\ \Delta\theta_x=\overline{\theta}_{x,\mathrm{spec}}-\overline{\theta}_{x,\mathrm{vac}}\end{gathered}

独立真空帧使用同一角掩膜。共用参考使其计数误差作用于所有扫描点;裁切可能以不同方式偏置两个质心。

电场等效投影

Ex,eq=−pveΔθx=∫Ex dz−v∫By dz\mathcal E_{x,\mathrm{eq}}=-\frac{pv}{e}\Delta\theta_x=\int E_x\,\mathrm dz-v\int B_y\,\mathrm dz

单位为伏特,因为它是沿深度积分的场,而不是每米伏特的局部场。磁场预设在电场置零后复现相同计数。

分区近似小偏移

Dx=NR−NLNR+NL,Δθx≃πα4(Dx,spec−Dx,vac)D_x=\frac{N_R-N_L}{N_R+N_L},\qquad \Delta\theta_x\simeq\frac{\pi\alpha}{4}\left(D_{x,\mathrm{spec}}-D_{x,\mathrm{vac}}\right)

该斜率属于完整、均匀圆盘的小偏移极限;较大零点会进入非线性,环形掩膜或圆盘缺失也会改变标定。

计数与样品剂量

Ne=Iτe,d=Ne(2 nm)2N_e=\frac{I\tau}{e},\qquad d=\frac{N_e}{(2\,\mathrm{nm})^2}

每次扫描有 24 行、24 列曝光,间隔 2 nm。独立真空曝光增加采集时间与数据,但不算样品剂量。已知模型误差以探针展宽后的投影场为参考。

常见难点

投影不是局部场

容易误解场图给出了每个原子唯一的电场。

正确理解该图是探针平均后的电场等效深度积分;磁力和散射可能贡献信号,本实验未计算原子尺度多层切片。

中心掩膜不能修复偏转圆盘

容易误解对称探测器掩膜保证质心无偏。

正确理解若样品盘与真空盘被不同程度地截断,掩膜对称也不能恢复缺失强度。

动手实验

  1. 01

    预测偏转符号

    比较未校正状态与“已标定质心”。

    应该观察到: 扣除测量真空计数可以移除探测器零点,但会保留参考噪声。
  2. 02

    丢失角度支持

    缩小掩膜外半径或排除中心区域。

    应该观察到: 裁切圆盘的质心不再代表完整动量平均;缺失计数会使两种估计失效。
  3. 03

    区分估计器与解释

    比较分区和散射伪影预设,再比较磁场预设。

    应该观察到: 分区结果会偏离小偏移标定;人为散射产生错误场对比。电场与磁场来源能够产生相同的偏移数据。
  4. 04

    完成标定电场目标

    使用真空校正并达到指定接收、计数、均方根误差和剂量限制,再核对。

    应该观察到: 更多曝光可以减少计数噪声,却无法修复系统性裁切或散射偏差。