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Sandbox Physics

E30 · 电子波成像

HRTEM 相位衬度与 CTF

同一批原子,在高分辨电镜像里会从暗点变成亮点吗? 会,调一下离焦就可能翻过来。离焦和球差决定了每个空间频率,也就是每种尺度的细节,以正号还是负号传进图像、传得多强。符号一翻,那部分细节就明暗颠倒。没核对衬度传递函数之前,图像再清晰,也不能直接当原子位置图看。

对一块缺少一个原子柱的薄晶体调焦:改变失焦、球差和试样倾角,同时观察投影相位和带符号的透镜传递。再显示已知原子柱位置,检查像中的亮点是否真的对应原子。

交互模型HRTEM 相位衬度与 CTF
透镜传递 · 横向柱间距—\text{—}
样品因子 · 横向柱间距—\text{—}
图像均方根衬度0 %0\,\mathrm{\%}
最大样品相位0 rad0\,\mathrm{rad}
更多测量与实验目标
电子波长0 pm0\,\mathrm{pm}
Scherzer 失焦0 nm0\,\mathrm{nm}
柱间距处相干包络—\text{—}
束在样品内的路程0 nm0\,\mathrm{nm}
原子柱投影跨度0 nm0\,\mathrm{nm}
实验目标—\text{—}

物理教程

亮点是干涉的结果

背景很薄的样品主要改变电子波的相位。探测器测量强度,因此相位变化必须与透射波干涉,才能成为可见的衬度。

为什么值得理解解释高分辨像需要同时知道透镜设置和样品。即使每个原子柱都没移动,衬度也能反转。

先抓重点

核心问题
同一批原子,在高分辨电镜像里会从暗点变成亮点吗?
一句话直觉
透镜给每个空间频率乘上一个带符号的传递值:符号为负,这部分像就反转;传递为零,这部分就被抹掉。所以图像再清晰,也不一定直接标出原子位置。

核心数学模型

弱相位出射波

ψexit(r)≃1+iϕ(r)ϕ(r)=σVproj(r)\begin{aligned}\psi_{\mathrm{exit}}(\mathbf r)&\simeq1+i\phi(\mathbf r)\\\phi(\mathbf r)&=\sigma V_{\mathrm{proj}}(\mathbf r)\end{aligned}

相位较小且忽略吸收。本实验直接用合成高斯原子柱定义相位,没有拟合某种材料的相互作用常数。

透镜相位与带符号传递

χ(q)=πλΔfq2+π2Csλ3q4H(q)=e−iχ(q)T(q)=A(q)E(q)sin⁡χ(q)\begin{aligned}\chi(q)&=\pi\lambda\Delta f q^2+\frac{\pi}{2}C_s\lambda^3q^4\\H(q)&=e^{-i\chi(q)}\\T(q)&=A(q)E(q)\sin\chi(q)\end{aligned}

空间频率单位为每纳米的周期数,计算中的长度全部换算为纳米。负失焦表示欠焦;光阑接收截止频率以内的分量。

图像来自同一份相位

G(q)=T(q)F{ϕ(r)}I(r)≃1+2F−1{G(q)}\begin{aligned}G(\mathbf q)&=T(q)\mathcal F\{\phi(\mathbf r)\}\\I(\mathbf r)&\simeq1+2\mathcal F^{-1}\{G(\mathbf q)\}\end{aligned}

这是强度的一阶展开,不是完整多层切片波函数的模平方。直流分量保持为一,图像不会自动拉伸衬度。

相干性限制传递

Et=e−12(πλq2σf)2W(q)=Δfq+Csλ2q3Es=e−12[2πσαW(q)]2E=EtEs\begin{aligned}E_t&=e^{-\frac12(\pi\lambda q^2\sigma_f)^2}\\W(q)&=\Delta f q+C_s\lambda^2q^3\\E_s&=e^{-\frac12[2\pi\sigma_\alpha W(q)]^2}\\E&=E_tE_s\end{aligned}

焦距和照明角按高斯分布展宽,对相位差取平均。空间包络把透镜相位按照明角作线性展开,因此只是近似。

倾转改变投影样品

LX=Lcos⁡θqX=qx/cos⁡θΔX=tsin⁡θMcont(qx)=sinc⁡(qxttan⁡θ)cos⁡θsinc⁡(s)=sin⁡(πs)πs\begin{aligned}L_X&=L\cos\theta\\q_X&=q_x/\cos\theta\\\Delta X&=t\sin\theta\\M_{\rm cont}(q_x)&=\frac{\operatorname{sinc}(q_xt\tan\theta)}{\cos\theta}\\\operatorname{sinc}(s)&=\frac{\sin(\pi s)}{\pi s}\end{aligned}

倾转轴沿图像竖直方向,厚度沿薄片法线量取,柱势在深度方向均匀延伸。沿电子束积分后,柱投影沿横向拉宽。公式给出连续势的傅里叶系数倍率,sinc 采用归一化定义,零点值为一。计算沿束路积分周期网格上的线性插值,样品因子读数取自这份离散积分。透镜按缩短后的横向柱间距计算频率,径向传递规律保持不变。

Scherzer 聚焦

ΔfSch≃−1.2Csλ\Delta f_{\mathrm{Sch}}\simeq-1.2\sqrt{C_s\lambda}

正球差时,这个常规欠焦能把第一个有效传递带展宽。球差为零时它给出零,而精确正焦不会产生一阶相位衬度。

常见难点

亮点并不总是原子

容易误解每个亮点都对应原子,与聚焦无关。

正确理解强度来自透镜加上随频率变化的相位之后的干涉。位置标记是另外给出的样品真值,不能用来认定实验中未知的结构。

厚度控制能预测什么

容易误解这里增加厚度就能定量预测厚晶体。

正确理解厚度缩放正入射弱相位,也决定倾转后的投影展宽。这里的柱势沿深度均匀延伸;离散原子层和厚晶体的动力学散射需要其他传播模型。

动手实验

  1. 01

    先预测,再反转

    选择“暗原子柱”并显示已知位置,再选择“衬度反转”,重新显示位置。

    你会看到: 样品相位完全相同。透镜球差已校正,失焦一换符号,带符号的传递和模拟强度就跟着反转。
  2. 02

    让晶体看起来消失

    选择“正焦 · 消失”,比较相位图、均方根衬度和探测器。

    你会看到: 相位仍然非零,但理想校正透镜精确正焦时,一阶相位衬度为零;这不表示样品消失了。
  3. 03

    原子不动,信息仍会丢失

    比较“Scherzer 聚焦”和“相干性下降”,再把物镜截止频率降到原子柱频率以下。

    你会看到: 包络压低高频,光阑则直接去掉高频。位置标记照样显示样品真值,单看记录的图像却未必判断得出。
  4. 04

    倾转有限厚度的薄片

    选“倾转拉宽原子柱”,再保持厚度和聚焦不变,把试样倾角调回零。比较相位图、强度像和样品因子。

    你会看到: 倾转把柱势摊向横向邻近位置,削弱横向晶格分量;竖向分量依然清晰。样品沿深度对称,正负倾角的投影相同,因此单凭这张像判不出倾转符号。
  5. 05

    完成目标

    调焦,让柱间距处传递超过 0.85,打开已知位置并核对目标。

    你会看到: 你验证了一个频率带的符号;其他频率带可能符号不同,因此整张像比简单的亮暗规则更复杂。

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