E05 · 电子显微 / 样品物理

电子与样品作用信号地图

改变束能、原子序数、密度和厚度。在剖切样品中追踪固定随机种子的初级电子轨迹，开关信号路径并比较来源深度。在保持二次电子表面敏感性的同时，让至少一半初级电子穿透样品。

经验射程近似 $0\,\mathrm{nm}$

停止的初级轨迹 $0\,\mathrm{\%}$

背散射轨迹 $0\,\mathrm{\%}$

透射轨迹 $0\,\mathrm{\%}$

SE 90% 来源深度 $0\,\mathrm{nm}$

Auger 90% 来源深度 $0\,\mathrm{nm}$

假定 X 射线激发边 $0\,\mathrm{keV}$

实验任务 $\text{—}$

教学 Monte Carlo：经验 Kanaya–Okayama 射程作为连续减速路径预算；散射采用假定的随机游走核，没有实测截面。信号分支是示意，并非经标定的产额。SE 与 Auger 逸出长度是假定值；阴极发光需发光材料。X 射线激发使用粗略壳层阈值，不能用于定量成分分析。

先抓重点

R=\frac{27.6AE_0^{1.67}}{\rho Z^{0.889}}\,\mathrm{nm}

能量以 keV、密度以克每立方厘米计。C、Si、Au 使用原子质量，其余使用明确标注的近似；低能端是外推。

w(z)\propto g(z)\exp(-z/\ell_{\mathrm{esc}})

生成的信号与逸出概率是两件事。深度图比较峰值归一化核，并非绝对产额。

容易误解示意图像就是经标定的材料预测。

正确理解教学 Monte Carlo：经验 Kanaya–Okayama 射程作为连续减速路径预算；散射采用假定的随机游走核，没有实测截面。信号分支是示意，并非经标定的产额。SE 与 Auger 逸出长度是假定值；阴极发光需发光材料。X 射线激发使用粗略壳层阈值，不能用于定量成分分析。

01
预测
先预测硅块与薄片谁能透射更多，再比较探测终点比例。
应该观察到： 样品深处产生的信号可能在到达探测器前被吸收。透射随厚度变化，表面信号的逸出仍很浅。
02
调节与核对
初级轨迹透射比例至少 50%，且模型中的 SE 90% 来源深度小于 15 nm。
应该观察到： 任务依据定量读数，而非肉眼亮度。
03
解释限制
比较硅和金，再逐个关闭信号路径。解释相同电子束下信号来源深度为何不同。
应该观察到： 教学 Monte Carlo：经验 Kanaya–Okayama 射程作为连续减速路径预算；散射采用假定的随机游走核，没有实测截面。信号分支是示意，并非经标定的产额。SE 与 Auger 逸出长度是假定值；阴极发光需发光材料。X 射线激发使用粗略壳层阈值，不能用于定量成分分析。